形状复杂、切削加工量大而尺寸精度要求严格的工件，如合金钢刀具、模具等，在加工后(淬火前)常进行600~ 700°Cx2~4h的去应力回火，以消除切削应力、减少淬火畸变，有时也可在粗(机械)加工与精加工之间进行。

对于热处理后性能(硬度)达不到要求的重要零件，在返修淬火前也需进行去应力回火，以减少淬火畸变或淬裂倾向。

对加工过程中或精加工后的工件也可以进行低温回火，以消除或减少加工应力，提高工件的尺寸稳定性及寿命。

例如，高速钢制刀具在精磨后再进行200°Cx2h低温回火(再热处理)，可使硬度及耐磨性有明显的提高。W18Cr4V 钢制刀具精磨后、去应力回火后的硬度(HV5)分别为: 805/817/836/850、844/587/852/871。