有些较薄面长的工件，在整体正火或调质时容易畸变，可采用高频感应正火作为预备热处理，然后用同一感应器加热，随即进行淬火。进行高频感应正火时，可选用较小的比功率，适当延长加热时间，增大加热深度，可得到改善淬火层以里的心部组织的效果。

高频感应淬火时由于过热或硬度不足而需返修，或因某种原因导致淬火加热中断，均应进行一次高频感应正火，之后重新淬火，以免产生软带或裂纹。

为了减小高频感应淬火后内孔的收缩，可将齿轮毛坯粗车后，在铣齿外圆处进行一次与淬火时所采用的工艺基本相同的高频感应正火，再将齿轮毛坯精车到要求尺寸，可使后序淬火时齿轮的内孔收缩量大为减少，内径尺寸不超出公差范围。

例如，为防止带凸台齿轮内孔感应淬火畸变超差，可先在凸台的小端(A端)进行高频感应正火，铣齿后再进行齿面感应淬火，即可减小齿轮畸变。